Anwendung · Encoder
Encoder-Scheiben & Maßverkörperungen ätzen
Drehgeber- und Linear-Encoder-Skalen aus geätztem Metall bieten höchste Teilungsgenauigkeit, gratfreie Kanten und konstante Materialeigenschaften — entscheidend für die Messgenauigkeit von Positioniersystemen.
Kurz: Encoder-Scheiben mit Strichteilungen ab ca. 0,05 mm Strichbreite werden chemisch geätzt — meist aus Edelstahl 1.4404 für Standard-Anwendungen oder Invar (FeNi36) für temperaturstabile Präzisionssysteme.
Warum Ätzen für Encoder-Scheiben?
- Höchste Teilungsgenauigkeit — die Photomaske wird mit ± 1 µm Genauigkeit erstellt
- Gratfreie Kanten — kritisch für optische Encoder, da Grat Streulicht erzeugt
- Keine HAZ — kein Verzug, keine thermische Ausdehnungs-Inhomogenität
- Reproduzierbar in Großserie — Teilungs-Konstanz über tausende Scheiben hinweg
- Auch für Invar verfügbar — temperaturstabile Maßverkörperung für Hochpräzisions-Messtechnik
Encoder-Typen
- Inkrementale Encoder-Scheiben — periodische Strichteilung, oft mit Indexspur
- Absolute Encoder-Scheiben — Gray-Code, Pseudo-Random oder digital codierte Teilungen
- Linear-Encoder-Skalen — gerade Maßverkörperung für Lineartische und Werkzeugmaschinen
- Reflektive vs. transmittive Encoder — beide mit geätzten Strukturen realisierbar
Typische Bauteildaten
| Parameter | Typischer Wert |
|---|---|
| Material | Edelstahl 1.4404, Invar (FeNi36), Glas-Substrat mit Cr-Beschichtung |
| Materialdicke | 0,1 – 0,5 mm |
| Minimum Strichbreite | ≈ 50 µm (materialabhängig) |
| Teilungs-Genauigkeit | ± 2 – 5 µm bei sorgfältiger Auslegung |
| Konzentrizität | typ. ± 5 µm |